При CVD в нагретую рабочую камеру подаются специальные газы — прекурсоры.
Под действием температуры они вступают в химические реакции возле поверхности детали. В результате на поверхности постепенно образуется тонкий слой нового материала.
Так можно наносить покрытия из карбида кремния, карбида тантала, углерода и других материалов.
CVD применяется для получения жаростойких, износостойких, защитных и функциональных покрытий.
Главное отличие: новый материал формируется непосредственно на поверхности изделия в результате химической реакции газов.