Вакуумная термообработка — это не отдельный вид изменения структуры металла вроде закалки или отжига. Это условия, в которых проводится термообработка.

В вакууме можно выполнять отжиг, закалку, отпуск, высокотемпературную пайку и другие процессы.

Поскольку вокруг детали практически отсутствует воздух, поверхность значительно меньше окисляется и не покрывается обычной окалиной. Это особенно важно для чистых, точных и ответственных изделий.

Охлаждение после вакуумного нагрева может выполняться, например, потоком инертного газа под давлением.

Главное отличие: изменяется не сама физическая сущность отжига или закалки, а среда, в которой проходит процесс.